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バタフライバルブ コントロールシステム Series 61.2

製品カタログ

SEMI、FPD、PV、SOLAR、産業分野の圧 力制御用バルブ/特に高速で高度なプロセスに最適

特  長
ボディ材質:
アルミニウムまたはステンレススチール
コンパクトデザイン
高速動作
搭載型コントローラ
極めて短い制御応答時間
サービス時期の自動検出
(コンタミネーション検出)
ポジションインジケータ付き
サービスポート装備
(PC接続用またはサービスBOX2接続用)
コンタミの多いプロセスへの優れた適応性
メンテナンスが簡単

このカタログについて

ドキュメント名 バタフライバルブ コントロールシステム Series 61.2
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 1013.5Kb
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取り扱い企業 VAT株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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Page 1:x yOrdering informationコントローラ搭載型バルブMain applicationsSEMI、FPD、PV、SOLAR、産業分野の圧力制御用バルブ特に高速で高度なプロセスに最適例:CVDSeries 61.2例:61240-PAGG= ISO-F、DN 100 フランジ、アルミニウムボディ、RS232インターフェイス、1 センサーDN Ordering numbersaluminum stainless steelmm inch ISO-KF ISO-F ISO-KF ISO-F25 1 61228-KA x y 61228-KE x y40 1½ 61232-KA x y 61232-KE x y50 2 61234-KA x y 61234-KE x y63 2 ½ 61236-PA x y 61236-PE x y80 3 61238-PA x y 61238-PE x y100 4 61240-PA x y 61240-PE x y160 6 61244-PA x y 61244-PE x y200 8 61246-PA x y 61246-PE x y250 10 61248-PA x y 61248-PE x yG = basic versionA = with SPSH = with PFOC = with SPS and PFOT = basic version with VC masterV = with SPS and VC masterU = with PFO and VC masterW = with SPS, PFO and VC master インター センサー フェイス の数量G=RS232 1H=RS232 2C=Logic 1E=Logic 2P=DeviceNet®1Q=DeviceNet®2D = Profibus 1F = Profibus 2J =RS485 1K=RS485 2Y=Ethernet 1Z=Ethernet 2L =CC-Link 1N=CC-Link 2I =EtherCAT 1X=EtherCAT 2S = VC slave (without interface)SPS=センサー電源供給(±15 V DC センサー用電源供給)PFO=停電対策オプション(停電時に自動的にバルブ開 / 閉)VC=バルブクラスター(複数のバルブを同期をとって制御)DN 25 – 50 DN 63 – 250コントローラ構成:圧力コントローラについては、146 – 149頁を参照下さい。バタフライバルブ コントロールシステム Series 61118 www.vatvalve.jp

Page 2:Functional principle特  長ボディ材質:アルミニウムまたはステンレススチールコンパクトデザイン高速動作搭載型コントローラ極めて短い制御応答時間サービス時期の自動検出(コンタミネーション検出)ポジションインジケータ付きサービスポート装備(PC接続用またはサービスBOX2接続用)コンタミの多いプロセスへの優れた適応性メンテナンスが簡単1Controller 4Double seal2Coupling 5Plate3Bearing 6Valve bodyDouble seal ofrotary feedthroughバルブプレートはバルブ開口のコンダクタンスを可変させる絞り要素として動作します。バルブ本体と一体化されたコントローラは、設定圧力を実現するために必要なプレートの開度を計算します。280頁に記載の動作原理図も参照下さい。また、エンコーダがステッピングモーターの位置をモニターしており、ますます要求が過酷になってきている汚れたプロセスにおいても、高速で正確な圧力制御を実現しております。技術データ リーク量 1): バルブボディ、バルブシート 1 · 10-10Pam3s-1使用圧力範囲 1) 1 · 10-6Pa to 0.12 MPa (abs)第 1 回サービスまでのサイクル数 2)2 百万回許容温度 2)–バルブボディ ≤ 150 °C–周囲温度 ≤   50 °C材質–バルブボディ、プレート-アルミニウム EN AW-6082 (3.2315)-ステンレススチール AISI 316L (1.4404 or 1.4435)–シャフト AISI 316L (1.4404 or 1.4435)–その他の部材iglidur®X, AISI 316L (1.4404 or 1.4435)シール: 軸シール FKM (Viton®)軸シール O-リング回転軸シール取付け方向 自由1)バルブの加熱なしの条件下で。2)最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる。次頁に続くSeries 61119Bwww.vatvalve.jp

Page 3:アクチュエータ–超高速アクチュエータ(0.1 s)–締切りバルブ制御用信号出力–PIDパラメータ設定可能なコントローラ(適応型制御、アップストリーム制御、ダウンストリーム制御、ソフト排気制御)–2つのアナログ 出力を持つRS232インターフェイスバルブ–標準外のバルブサイズ  例:DN 10, 320–他のフランジ型式 例:JIS保守用フランジ、ASA-LP、CF-F–お客様指定のフランジ–表面処理 例:硬質アルマイト加工、ニッケルメッキ–標準以外のシール材料–ヒーター(断熱カバー付き)(写真)、バルブ加熱温度150 °Cまで。(ご要望により200 °C までの加熱)–苛酷な生産プロセス仕様、DN 160まで。例:1気圧までの差圧に対応、コンタミの多いプロセス向け–組合せバルブ。締切り用バルブと組合せ一体化したバルブ:Series 95、144−145頁参照オプションDN(nominalI. D.)Conductance(molecularflow)Minimumcontrollableconductance(molecularflow)Max.differentialpressureontheplateTypicalclosingoropeningtimeWeightAluminumvalveStainlesssteelvalvemm inch ls-1ls-1mbar s kg lbs kg lbs25 1 22 0.15 1000 0.3 2 4.4 2.5 5.540 1½ 80 0.25 1000 0.3 2.1 4.6 2.6 5.750 2 150 0.30 1000 0.3 2.4 5.3 3 6.663 2 ½ 360 0.45 1000 0.3 2.6 5.7 4.1 980 3 850 0.65 1000 0.3 2.8 6.2 4.7 10.4 100 4 1 400 0.85 800 0.3 3 6.6 5 11160 6 3 800 1.70 300 0.3 4.2 9.3 7.2 15.9200 8 7 800 2.80 150 0.3 4.7 10.4 10 22250 10 15 000 5 100 0.3 5.7 12.5 12.3 27.1オプション注文の手引き:バルブの Ordering No. -X(例:61236-PEGG-X, X = 150 °Cのヒーター付き)オプションによっては適用できないバルブ口径があります。また、組み合わせての適用が出来ないものがあります。更に、オプション適用により技術データの数値に変更を生じることがあります。技術データ圧力コントローラについては、146 – 149頁を参照下さい。–シールお問い合わせ下さい。(バルブの製造番号をお知らせ下さい)スペアパーツ–バルブ取付け用真空継ぎ手類: Series 31、32参照別売付属品バタフライバルブ コントロールシステム Series 61120 www.vatvalve.jp

Page 4:Projection EDNmminch251401½502632 ½80310041606200825010Amminch501.97572.24572.24301.18301.18301.18301.18301.18301.18Bmminch652.56803.15903.541305.121455.711656.502258.8628511.2233513.19B1mminch39.901.5754.902.1674.902.95– – – – – –Cmminch– – –1104.331254.921455.712007.8726010.2431012.20Dmminch250.98401.57501.97632.48803.151003.941505.912007.872509.84E × Fmminch– – –4 × 94 × 0.358 × 98 × 0.358 × 98 × 0.358 × 118 × 0.4312 × 1112 × 0.4312 × 1112 × 0.43Hmminch26.301.0441.301.6352.302.06702.76833.271024.021536.022138.3926110.28Imminch30.1230.1230.124.500.184.500.184.500.184.500.184.500.184.500.18Kmminch271.06271.06271.06– – – – – –Nmminch49.501.95572.24923.6277.503.0590.503.5698.503.88123.504.861576.181827.17Omminch208.508.212168.502519.88236.509.31249.509.82257.5010.14282.5011.1231612.4434113.43Pmminch1244.881244.881244.881244.881244.881244.881244.881244.881244.88Rmminch702.76702.76702.76702.76702.76702.76702.76702.76702.76Smminch903.54903.54903.54903.54903.54903.54903.54903.54903.54寸法図Valve with stepper motor and integrated pressurecontroller  DN 63 – 250 (2½" – 10") ISO-FValve with stepper motor and integrated pressurecontroller  DN 25 – 50 (1" – 2") ISO-KF Required for dismantlingSeries 61121Bwww.vatvalve.jp

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