【展示会レポート】VACUUM2017 真空展

VACUUM2017 真空展 展示会レポート 2017/9/6（水）～ 2017/9/8（金） 2017年9月13日発行 株式会社アペルザ

真空展 / 目次 4 株式会社アルバック 特許申請中の独自構造により、大気圧付近の排気時間を20％短縮！ 低消費電力型ドライ真空ポンプ『LSシリーズ』を参考出展 6 エドワーズ株式会社 磁気ベアリングを使用し、オイルフリーを実現 安定稼働・低騒音・低振動『STP 磁気浮上式ターボ分子ポンプ』など 8 ライボルト株式会社 人の会話以下！ 52dB（A）と騒音値は同クラスのポンプの半分 低騒音・低振動が特長の新型ドライ真空ポンプ『ECODRY plus』 10 オリオン機械株式会社 インバータ制御で従来比80％の省エネを実現『KCMシリーズ』など 省エネや作業環境改善に貢献するオイルフリー真空ポンプを複数出展 12 キヤノンアネルバ株式会社 1台で大気圧～超高真空領域をスムーズに測定可能！ コールドカソードピラニゲージ『M-361CP』など新製品 14 芝浦メカトロニクス株式会社 EMIシールド、車載ディスプレイ、ヘッドアップディスプレイなど アプリケーションに応じた最適な自動化ラインを提案 2

VACUUM2017 真空展 / 概要 VACUUM2017 真空展とは 半導体、FPD、電気電子分野だけではなく、 医療機器や分析機器、さらには、最近注目を 集めている新エネルギー分野や環境関連分野 にも密接に関わる“真空技術”の展示会です。 に 公式サイト http://biz.nikkan.co.jp/eve/vacuum/ 名称 VACUUM2017 真空展 会期 平成29年9月6日（水）～8日（金）3日間 パシフィコ横浜 会場 〒220-0012 神奈川県横浜市西区みなとみらい1丁目1-1 ［一般］1,000円 ［学生・団体（15名以上）］ 無料 入場料 ※事前登録者及び招待券持参者は無料 主催 日本真空工業会、一般社団法人日本真空学会 出展社数 49社 9月6日（水）4,721名 9月7日（木）4,689名 来場者数 9月8日（金）6,608名 合計16,018名 3

真空展 / 注目の企業 特許申請中の独自構造により、大気圧付近の排気時間を20％短縮！ V-114 低消費電力型ドライ真空ポンプ『LSシリーズ』を参考出展 株式会社アルバック 産業・研究用の真空装置を手がけるアルバックは、2017年8月に発表した低消費電力型 ドライ真空ポンプ『LSシリーズ』を参考出展した。同製品は、高速排気と低消費電力を 両立、一般的な低消費電力型ドライ真空ポンプに比べて排気時間を約20％短縮を実現し たもの。最大排気速度120～1200m3/hの4機種をラインアップし、2018年1月発売予定。 出展内容 ドライ真空ポンプ『LSシリーズ』（参考出展）など 企業の公式サイトはこちら↓ Cluezの企業ページで詳細をチェック↓ https://www.ulvac.co.jp/ https://jp.cluez.biz/company/page/460/ 4

アルバック / 注目の製品 ドライ真空ポンプ 『LSシリーズ』（参考出展） 電子部品やディスプレイの製造ラインで主流となっている“低消費電力型のドライ真空ポンプ” 。しかし 一般的な製品は大気圧付近の排気速度が小さく、排気時間が長くなるという課題が。 そうした課題に対し同社が提案するのが、『LSシリーズ』。到達圧力時の消費電力は0.6kW以下と低消 費電力ながらも、大気圧付近の排気速度を大きくし、排気時間の短縮を実現した（従来比20％減）。 z 5

真空展 / 注目の企業 磁気ベアリングを使用し、オイルフリーを実現 V-100 安定稼働・低騒音・低振動『STP 磁気浮上式ターボ分子ポンプ』など エドワーズ株式会社 “First in Mind , First in Choice” （常に真っ先に思い浮かべ、選んでいただけるよう に）を掲げ、真空製品や排ガスソリューションを提供するエドワーズは、複合ドラッグス テージと一体型コントローラを備えたハイブリッド軸受けポンプ『nEXT ターボ分子ポン プ』や『STP 磁気浮上式ターボ分子ポンプ』など、研究開発向け高真空製品を出展した。 出展内容 ■ 『nEXT ターボ分子ポンプ』 ■ 『STP 磁気浮上式ターボ分子ポンプ』 ■ターボ排気ユニット『T-Station 75』など 企業の公式サイトはこちら↓ Cluezの企業ページで詳細をチェック↓ http://www.edwardsvacuum.com/jp/home/ https://jp.cluez.biz/company/page/456/ 6

エドワーズ / 注目の製品 『STP 磁気浮上式ターボ分子ポンプ』 写真右は長時間の安定稼働、低騒音、低振動などの 製品カタログの詳細はこちら↓ 特長を持つ『STP 磁気浮上式ターボ分子ポンプ』。 z https://jp.cluez.biz/catalog/page/456/17255/?utm_campaign=cluez_ex303_20170913&utm_source=ex_report&utm_medium=pdf&utm_content=product01 磁気ベアリングを使用し、オイルフリーを実現。 製品カタログ ターボ排気ユニット『T-Station 75』 全行程をカバーできるとして、デモを披露。台上のユニットは、ターボ排気ユニット『T-Station 75』。TAGコ ントローラ標準搭載で、ボタン1つでシステムの始動・停z止ができる。 7

真空展 / 注目の企業 人の会話以下！ 52dB（A）と騒音値は同クラスのポンプの半分 V-123 低騒音・低振動が特長の新型ドライ真空ポンプ『ECODRY plus』 ライボルト株式会社 ドイツ・ケルンに本社を置く、世界で初めて真空技術を工業用途に応用したLeyboldの日本法人で あるライボルトは、2017年春に発売したばかりの新製品のドライ真空ポンプ『ECODRY plus』を出展 した。騒音値は52dB（A）と同クラスのポンプに比べて半分以下。また非接触のポンプ設計により 磨耗によるパーティクルが発生しないなどの特長を持つ。 出展内容 新型ドライ真空ポンプ『 ECODRY plus』など 企業の公式サイトはこちら↓ https://www.leybold.com/jp/ja/ 8

ライボルト / 注目の製品 新型ドライ真空ポンプ 『ECODRY plus』 低振動で接触のないローター、低消費電力のドライブユニット、さらに最先端のサイレンサーも標準搭 載し、人の会話以下の騒音レベルを達成。研究や作業に集中できる環境を作り出すことが可能。 非接触のポンプ設計により、摩耗やパーティクルの発生がなくクリーンなのでインターバルが少ない。ま た底部にはキャスターがついているため、女性でも簡単にポジションの変更ができる。 z 9

真空展 / 注目の企業 インバータ制御で従来比80％の省エネを実現『KCMシリーズ』など V-111 省エネや作業環境改善に貢献するオイルフリー真空ポンプを複数出展 オリオン機械株式会社 冷凍機器・空圧機器・真空機器など各種産業機器の開発・製造・販売を手がけるオリオン 機械は、インバータ制御により従来比最大80％の省エネが可能な『KCMシリーズ』、シ リンダと非接触でエネルギーロスが少ないという新開発の高効率ロータを採用した『KCP シリーズ』など、省エネや作業環境改善に貢献するオイルフリー真空ポンプを出展した。 出展内容（一部） ■オイルフリー真空ポンプ『KCMシリーズ』 ■オイルフリー真空ポンプ『KCPシリーズ』など 企業の公式サイトはこちら↓ http://www.toshiba.co.jp/index_j3.htm 10

オリオン機械 / 注目の製品 インバータ制御により省エネを実現『KCMシリーズ』 エア消費量に応じて最適な回転数を自動で判断する という省エネ機構を搭載したオイルフリー真空ポン z 製品カタログの詳細はこちら↓ プ。従来比最大80％の省エネが可能とのこと。 http://www.orionkikai-vacuum-pump.com/page02b.html製品カタログ 新開発の高効率ロータ（非接触） 新開発高効率ロータ（非接触）を使用したオイルフリー真空ポンプ『KCPシリーズ』は、省エネで真空を実現。 シリンダと非接触でエネルギーロスが少なく、また耳障りzとなる低周波領域を大幅に低減した「高効率ロータ」について、カットモデルを使って紹介した。省エネだけでなく作業環境の改善でもメリットが。 11

真空展 / 注目の企業 1台で大気圧～超高真空領域をスムーズに測定可能！ V-97 コールドカソードピラニゲージ『M-361CP』など新製品 キヤノンアネルバ株式会社 長年培った真空、薄膜技術をベースに開発した各種装置、真空コンポーネントを製造・販 売するキヤノンアネルバは、1台で大気圧～超高真空領域を測定できる複合型の真空計 「コールドカソードピラニゲージ」、熱フィラメント不使用、超高真空～高真空を安定し て測定できる「コールドカソードゲージ」の新製品を出展した。 出展内容 ■コールドカソードゲージ『M-370CG』（2017年8月発売） ■コールドカソードピラニゲージ『M-361CP』（2017年7月発売）など 企業の公式サイトはこちら↓ Cluezの企業ページで詳細をチェック↓ https://www.canon-anelva.co.jp/ https://jp.cluez.biz/company/page/2817/ 12

キヤノンアネルバ / 注目の製品 コールドカソードゲージ『M-370CG』 コールドカソードピラニゲージ『M-361CP』 コールドカソードゲージ『M-370CG』は、熱フィラメントを使用せずに、真空中に高電圧を印加して気体分 子をイオン化、そのイオン電流を測定するセンサー。超高真空〜高真空を安定して測定できる。 大気圧〜中空圧を測定するピラニゲージと超高真空〜高真空を測定するコールドカソードが1台になっ た『M-361CP』（写真左）。従来難しかった切り替えがシームレス、スムーズに行えるようになったという。 製品カタログの詳細はこちら↓ https://jp.cluez.biz/catalog/page/2817/17093/?utm_campaign=cluez_ezx303_20170913&utm_source=ex_report&utm_medium=pdf&utm_content=product02 製品カタログ 13

真空展 / 注目の企業 EMIシールド、車載ディスプレイ、ヘッドアップディスプレイなど V-96 アプリケーションに応じた最適な自動化ラインを提案 芝浦メカトロニクス株式会社 フラットパネルディスプレイ、半導体、電子部品、光学薄膜といった用途向けの製造装置 の開発を手がける芝浦メカトロニクスは、EMIシールド、ヘッドアップディスプレイ、ミ リ波レーダーなど自動車業界にフォーカスして、自社の製品ラインアップを紹介。東芝機 械エンジニアリングとの協業により、ラインで提案できるのが強みだという。 出展内容 ■自動車部品用スパッタリング装置 ■光学部品用スパッタリング装置 ■EMI シールド用スパッタリング装置など 企業の公式サイトはこちら↓ https://www.shibaura.co.jp/ 14

芝浦メカトロニクス / 注目の製品 アプリケーション例の紹介 反射膜＋保護膜など1ランク上の付加価値を提供、立体物成膜に最適＆自動化ライン対応の高速枚葉 式スパッタリング装置『BMシリーズ』は、自動車外装品やエンブレム、自動車内装品などに。 光学膜成膜に最適なスパッタリング装置『CCSシリーズ』は、スマホや社車載ディスプレイのカバーガラス 用ARコートなどに。基板サイズや生産量に応じて最適な自動化ラインを提案可能とのこと。 z 15

真空展 / 出展企業一覧 エドワーズ株式会社/ 伯東株式会社/ 日本電子株式会社/ Zhejiang Value Mechanical ＆ Electrical Products Co.,Ltd./ 株式会社島津製作所/ VISTA/ 富士交易/ 株式会社堀場エステック/ オリオン機械株式会社/ コスモ・ テック株式会社/ 赤田工業株式会社/ 株式会社オプトラン/ 株式会社岡崎製作所/ アジレント・テクノロジー株 式会社/ リッチモアインターナショナル/ バルカー・ガーロック・ジャパン/ 東京電子/ VAT/ ライボルト株式 会社/ インフィコン株式会社/ 日立造船株式会社/ 株式会社大阪真空機器製作所/ Photo electron Soul/ 株式会 社葵製作所/ 株式会社キッツエスシーティー/ 中山泰維電子/ 原田産業株式会社/ 大村技研/ VICインターナショ ナル/ 有限会社ケイ・エム技研/ 株式会社エムケーセラ/ 熊本県/ 産業タイムズ社/ フィジックステクノロジー/ 株式会社荏原製作所/ 荏原フィールドテック/ ニッタ株式会社/ 入江工研株式会社/ 神港精機株式会社/ ナイス株 式会社/ 大亜真空株式会社/ 有限会社フォーユー/ 株式会社リガク/ 東和工業株式会社/ 株式会社フジ電科/ 芝浦 メカトロニクス株式会社/ 芝浦エレテック株式会社/ キヤノンアネルバ株式会社/ 佐藤真空株式会社 16

真空展 / メディアページ メディア運営 株式会社アペルザが創り出すメディアやサービスサイトは、製造業に特化し、情報、取引、コミュニケー ションをオープンしていくことをミッションとして展開しています。エンジニアや企業の共通のプラット フォームとなっていき、さまざまな障壁をクリアすることで、より最適なものづくりの市場を作ります。 調達購買を、もっと便利にスムーズに。 工業用資材の価格検索サイト Aperza（アペルザ） アペルザは、製造業に向けた工業用資材の価格検索サイトです。様々メーカーの製品情報と、 商社・ECサイト運営サプライヤーの価格情報を掲載。製造業の調達購買に関わるすべての 人の業務効率の改善をサポートします。 https://aperza.jp/ 新たな出会いを、カタログから。 製造業向けカタログポータル Cluez（クルーズ） 日系製造業の優れた技術・製品を世界に発信する、製造業向けカタログダウンロードサイト。 日本・台湾で同時展開。日々の情報収集から調達購買品の検索選定まで、製造業で働く方が ユーザーとして利用するサイト。日本メーカーの優れた製品を、インターネット技術を通じ て世界市場にアピールすることで、企業のグローバル化・利益創出をサポートしていきます。 https://jp.cluez.biz/ 現場のアイデアに、出会う場所 ものづくりニュース エンジニアが日常業務の中で習得し、活用する知見やノウハウ等のコンテンツに特化した、 ものづくり最前線の情報提供。日本の製造業における情報流通プラットフォームとして、次 世代型ものづくりの浸透を後押しします。 http://news.aperza.jp ものづくりを応援する業界紙オートメーション新聞 「ものづくりを応援する」をコンセプトとし、製造業に特化した専門紙。激変するものづく り環境に対応した、有益な技術情報や製品情報を提供。特にファクトリーオートメーション 分野に強みを持ち、業界40年の経験をもつ記者が在籍。現在は、新聞、メール版、ウェブ 版と、リアル・デジタルの両面で広く情報を提供しています。 http://www.automation-news.jp/ 第4次産業革命は、ここから。 Industry 4.0 Central インダストリー4.0に関する情報をワンストップで提供するキュレーションメディア。BtoB 向けに特化し、日本だけでなく海外の動向も一挙に提供。 https://industry4.jp/ 17

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