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シャフトモーターによって駆動する、クリーンルーム対応の完全非接触構造の一軸テーブルです
【特徴】
○驚異の低速度むら
○オーバーシュートの無い高速の立ち上がり
○完全非接触
○経年変化が全くありません
○グラナイトを直接エアースライドとして利用
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このカタログについて
| ドキュメント名 | シャフトモーター駆動 グラナイトエアーベアリングステージ |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 326.6Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社ジイエムシーヒルストン (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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