半導体産業用小型圧力トランスミッタ

ZT11

長野計器株式会社

●測定流体:各種半導体用プロセスガス
●グレード:UC(オプション)、EP、GP
●継手形状:S形、T形一体(鍛造)
●接続継手:VCR対応一体形継手、UJR継手
●接ガス部材質:
・圧力センサ:Co-Ni系合金、SUS316L
・継手:SUS316L
●圧力レンジ:0~0.3MPa→0~20MPa
 -0.1~0.3MPa→-0.1~2MPa
●総合精度:±0.5%F.S. at 23℃
●電気接続:M12コネクタ接続
●ケース構造:IP67
●ゼロ調、スパン調:外部調整式
●CEマーキング適合

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長野計器株式会社

長野計器の歴史は、圧力計測技術の歴史でもあります。当社は、1896年に創業し、1948年の会社設立を経て現在に至るまで「技術立社」を標榜し、圧力計・圧力センサのリーディングカンパニーとして、品質・性能...

〒 143-8544
東京都大田区東馬込1丁目30番4号

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