水集積ユニット
WXU
ユニット化で配管レスを実現
水を使用して熱源・チャンバー等を冷却する回路を持つ装置（半導体製造装置・太陽電池製造装置等）向けに、流体制御や流量制御および流量監視機器を組み合わせたユニットです。
省スペース・配管レス 水集積ユニット WXUシリーズのダウンロード (3.5Mb)
省スペース・配管レス
●配管レスのユニット化により、設置スペースを大幅に低減。
●ねじ込み部がない為、外部漏れがなく、配管施工時の異物混入を防止。
バリエーション豊富
シリンダバルブ・手動バルブ・流量センサ・流量調整用ニードルがユニット搭載可能で、バリエーションが豊富。
関連カタログ
水集積ユニットの関連カタログ
企業情報
CKD株式会社
自動化技術や流体制御技術を基盤に、お客さまのニーズに合わせた商品開発を続けることで、 各分野を網羅した幅広いラインナップを誇るCKDの商品。 現在では50万アイテムを超える商品群が、世界中のモノづくり...
〒 485-8551
愛知県小牧市応時2-250