レーザーエンコーダ（リニアスケール）

RLE

このシンプルなシステムは光ファイバ送出システムを使用して実現したもので、レーザー光線を計測軸に直接照射するため、複数の部品からなるビームベンダー、ビームスプリッターや調整式取り付け台を準備する必要がなくなりました。干渉計システムの構造をこのように変革したことにより、フットプリントの低減を図りながら、システムを数分間で取り付けることができるようになりました。各 RLE システムは、RLU レーザーユニットと RLD ディテクターヘッドという2つの主要コンポーネントで構成されます。これらのコンポーネントは、必要な構成に合わせて様々なものを用意しています。レニショーでは、シングルパスディテクターに組み込む反射鏡や、ダブルパス用のミラーとミラーマウントも提供しています。

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レーザーエンコーダ（リニアスケール）の特長

RLU レーザーユニット

1軸、あるいは2軸構成の RLU レーザーユニットには、HeNe（ヘリウム/ネオン）レーザー光源、安定化電子回路、光ファイバ送出機構、および軸の位置決めフィードバック回路が組み込まれています。RLU レーザーユニットには、1時間で±50ppbの周波数安定性を備える RLU10 （全 RLE10 システムに使用）と、1時間で±2ppbの周波数安定性を備える RLU20 （全 RLE20 システムに使用）という2つの周波数安定性仕様があります。標準システムは、RLU レーザーユニットと3mの光ファイバケーブルで接続されます。

出力方向0°の RLD10 ディテクターヘッド

シングルパス干渉計かダブルパス干渉計（それぞれ反射鏡と平面鏡のアプリケーション用）、レニショー独自のマルチチャネル干渉縞検出機構、レーザーシャッター、ビームステアラを内蔵しています。干渉計を内蔵しない出力方向 0°のディテクターヘッドも提供できます。この構成を使用すれば、キャリブレーション部門で販売している位置決め、角度、真直度の光学部品と合せて RLE システムを使用できます。

出力方向90°の RLD10 ディテクターヘッド

シングルパス干渉計かダブルパス干渉計（それぞれ反射鏡と平面鏡のアプリケーション用）、レニショー独自のマルチチャネル干渉縞検出機構、レーザーシャッター、ビームステアラを内蔵しています。このディテクターヘッドは上下どちらの面でも取り付けが可能で、この場合には 90°か 270°のビーム出力方向が得られます。