LISA高速ピエゾステージ
P-753
静電容量センサーによる高リニアリティステージ
P-753 LISA（リニアステージアクチュエータ）高速ピエゾステージはリニアアクチュエータ、およびステージの両方としてご使用頂けます。このP-753 LISAは静電容量フィードバックセンサー、摩擦の無いフレクシャガイドシステム、および高性能ピエゾ駆動（PICMA®）を搭載しており、最大ストロークが38μm、整定時間が短く、直進性が非常に高いことが大きな特徴です。
| 主な用途 | ● ディスクドライブ検査 ● 各種計測 ● ナノポジショニング ● 走査型顕微鏡 ● フォトニクス／光集積回路 ● 干渉計 ● バイオテクノロジー ● マイクロマニピュレーション |
|---|---|
| URL | http://www.pi-japan.jp/products_category_pztpos_nanopos_1.html |
企業情報
ピーアイ・ジャパン株式会社
PI（Physik Instrumente）社はドイツ・カールスルーエを本拠地とし、弊社ピーアイジャパンは、日本で30年以上に渡り、半導体、計測測定、顕微鏡、機械加工、天体観測など様々なお客様に高精度...
〒 212-0013
神奈川県川崎市幸区堀川町580 ソリッドスクエア西館17F