小型ピエゾステージ

P-611.1

44x44mmのコンパクト設計でナノメートルの精度!超高性能小型ステージ

ピーアイ・ジャパン株式会社

P-611.1ピエゾステージは、わずか44×44mmのフレクシャガイドナノポジショニングシステムです。このシステムは、コンパクトなサイズにも拘わらず、サブナノメートルの分解能で最大120μmのストロークを実現しています。これらの製品は、干渉計の光路長補正、顕微鏡や走査アプリケーションにおけるサンプル位置決めなどに適しています。特徴として、セラミックコーティングを施したピエゾドライブ、そして静止摩擦/動摩擦のないフレクシャガイドシステムを備えています。P-611ピエゾステージはすべて、ナノメートルの精度
と比類なき信頼性でミリセカンドの応答を実現します。

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主な用途 ● マイクロ機械加工
● 顕微鏡
● マイクロマニピュレーション
● 半導体試験
URL http://www.pi-japan.jp/products_category_pztpos_nanopos_nanocube.html

ピーアイ・ジャパン株式会社

PI(Physik Instrumente)社はドイツ・カールスルーエを本拠地とし、弊社ピーアイジャパンは、日本で30年以上に渡り、半導体、計測測定、顕微鏡、機械加工、天体観測など様々なお客様に高精度...

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