P-726
P-726 PIFOC®高剛性&高速対物レンズピエゾステージは、高分解能が求められる今日の顕微鏡アプリケーションで使用されている、開口数の大きい重量対物レンズに対して、高速ステップ時間を提供するために開発されました。極めて高い剛性を特徴とするため、重い数百グラムの対物レンズを動かす場合でも、優れた整定時間とスキャニング周波数を可能にします。高剛性は、複数のピエゾドライブを円周状に対称配置し、フレクシャとレバーの設計を最適化することにより生まれました。この結果、比類のないガイド精度とダイナミクスを実現しています。さらに、他のPIFOC®シリーズと同様、P-726にはダイレクト計測用の静電容量センサーが
備えられ、1ナノメートルをはるかに下回る分解能を可能にしています。
主な用途 | ● 3D画像 ● スクリーニング ● オートフォーカスシステム ● 顕微鏡 ● 共焦点顕微鏡 ● 表面形状解析 ● ウェハー検査 |
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URL | http://www.pi-japan.jp/products_category_pztpos_microscope_pifoc.html |
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