平面度検査器(斜入射式)

FT-M350、FT-MPシリーズ

比較的大きなうねりを評価する事が可能

フィゾー式では面のうねりが数μmを超えると縞本数が多くなり、実用面で測定が困難となる為、斜入射方式を採用する事により干渉縞感度を抑え、比較的大きなうねりを評価する事が可能。
干渉縞感度はプリズム光学系では0.8μm～3μm可変・ミラー光学系では2μmまたは4μmとなっており、試料に合わせた感度での測定が可能です。

ミラー光学系は、測定視野が□250㎜を超えるプリズムは材料入手が困難となる為、弊社考案のミラー光学系斜入射式を採用する事により超大型試料の測定も可能にした検査器です。

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平面度検査器(斜入射式)の特長

製品分類

■プリズム斜入射式平面度検査器
干渉縞感度0.8μm～3μm可変
FT-MPシリーズ
■ミラー光学系斜入射式平面度検査器
測定面積が□250㎜を超える試料に対応
FT-Mシリーズ

先端技術分野の精密部品には研磨・研削等の高精度平面加工が施され、その精度評価を非接触、且つ高精度に評価する事が重要となっている。

溝尻光学工業所社は干渉計の専門メーカーとして高精度光学研磨技術を元に多種多様な測定試料に対応、
精密光学部品やハードディスク・ガラスディスク・Siウェハー・セラミックスプレート等、数㎜の磁気ヘッドからメートルクラスのフォトマスク基板等まで、
ユーザーの要望・試料に合わせた検査器を作成している。