【真空用熱電対】VTCシリーズ
VTC
CVD, スパッタリング等の真空装置内対象物温度測定用熱電対
各種真空規格フランジを接続し、気密性を持たせた熱電対。Kタイプ（クラス2）、シース部SUS316もしくはインコネル。フランジサイズはICF34, ICF70, NW16, NW25, NW40。
【基本仕様】
◉ JIS Kタイプ クラス2
◉ シース材質 SUS316, Inconel600
◉ シース径 0.5, 1.0, 1.5
◉ フランジ ICF34, 70, NW16, 25, 40
◉ 補償導線 テフロン被覆 Y形圧着端子付き（ミニコネクタも可能）
◉ 使用可能真空度 1x10-9pa以下（ICF）、1x10-4pa以下（NW）
【特型製作可能範囲】
◉ 2対式〜4対式（＊但しフランジサイズ限定されます、仕様別途協議）
◉ 電流導入端子付き（導入端子x2, 熱電対ポートx１）
◉ 異種フランジ規格変換継手付き
◉ シース部テフロンチューブ付き
その他ご要望に応じ、特注仕様製作致します。詳細は当社までお問い合わせ下さい。
| 主な用途 | CVD、PVD等の半導体・液晶・太陽電池・電子デバイスでの真空プロセス中での温度測定 |
|---|---|
| URL | http://www.thermocera.com/products/vacuumthermocouple.html |
テルモセラ・ジャパン株式会社
半導体・電子部品などの研究・開発・製造プロセスに必要な要素である「熱」応用製品の販売を基盤とし、 「基板加熱ヒーター」「温度計測機器」「実験炉」「薄膜実験装置」他企画開発商品の販売を行うことにより ...
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