【MiniLab-M307】ローコストベルジャー式真空蒸着装置
MiniLab-M307
ローコスト・ハイスペック。高品質蒸着膜を低価格装置で実現
主仕様】
・ベルジャー：ガラスもしくは SUS304 Φ304 x 350H mm ベースプレート着脱式
・Tallベルジャー（オプション）：Φ304 x 500(H)mm
・ポンプ：ターボ分子ポンプ 250ℓ/sec, ロータリーポンプ 8㎥/hr
・真空排気：真空/ベント自動制御
・抵抗加熱蒸着：最大4点（Model. TE1～TE4蒸着源）
・有機蒸着：最大3点（Model. LTEC-1cc/5cc)
・カーボン蒸着源：1点（オプション）
・2inchマグネトロンスパッタ x 1（オプション）
・プロセス制御：手動、もしくはPIDループ自動制御
・膜厚モニタ：Inficon社製 Q-Pod膜厚モニタ 専用ソフトウエア, 水晶振動子
・膜厚制御：Inficon社製 SQC310 2チャンネル成膜コントローラ
・ユーティリティ：電源200V ３相 13A, 水冷3ℓ/min, N2ベントガス0.1Mkpa
・オプション：同時/連続成膜, 基板加熱, ペルチェ冷却, 基板回転, バイアス印加, 上下距離調整, ドライポンプ
| 主な用途 | 大学・企業研究室での各種基礎実験用途 ・光学薄膜 ・電極膜, 半導体膜, 配線膜, 絶縁膜 ・包装材料他 |
|---|---|
| URL | http://www.thermocera.com/products/m307evaporator.html |
テルモセラ・ジャパン株式会社
半導体・電子部品などの研究・開発・製造プロセスに必要な要素である「熱」応用製品の販売を基盤とし、 「基板加熱ヒーター」「温度計測機器」「実験炉」「薄膜実験装置」他企画開発商品の販売を行うことにより ...
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