FPD用フォトマスク欠陥検査装置
MIS-FCシリーズ
高速・高感度Die-DB検査を行うFPD用フォトマスク欠陥検査装置
・高速・高感度Die-DB検査
・濃淡画像処理検査アルゴリズムによる高分解能検査
・精密ステージの採用
・専用光学系の採用
・欠陥検査とデータ変換の並列処理
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| 主な用途 | FPD用フォトマスクの欠陥検査 |
|---|---|
| URL | https://www.tktk.co.jp/product/electronics/blanks/#tabpanel04 |
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企業情報
株式会社東光高岳
東光高岳は、電力流通システムを一貫してカバーする製品とサービスを提供する中で培った計測・伝送・制御のコア技術をもとに、半導体の製造に欠かせない部品・パーツの検査装置を開発しています。
〒 135-0061
東京都江東区豊洲5-6-36 ヒューリック豊洲プライムスクエア8F