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真空バルブ

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真空バルブ(しんくうバルブ)は、真空チャンバーに取り付けられる真空部品でバルブの一種である。真空バルブは通常のバルブに比べ気体成分をほぼ完全に遮断したり、厳密にコントロールしなければならない。また、その構成材料は殆どの場合真空用材料によって構成されている。

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真空バルブhttp://ja.wikipedia.org/)より引用

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