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蒸着(じょうちゃく、英語:vapor deposition)とは、金属や酸化物などを蒸発させて、素材の表面に付着させる表面処理あるいは薄膜を形成する方法の一種。蒸着は、物理蒸着(PVD)と化学蒸着(CVD)に大別される。ここでは主にPVDの一種である真空蒸着を解説する。
蒸着 (http://ja.wikipedia.org/)より引用
HS
超高温基板加熱ユニットに、上下昇降・回転、RF/DC基板バイアスの全てが1台で可能! '...
◉ 超高真空・不活性ガス雰囲気中・その他各種プロセスガス雰囲気に対応 ◉ 基板上下...
SH-IN, SH-BN
CVD, PVD(蒸着, スパッタ, PLD, ALD等)均熱性・再現性に優れた高真空 超高温ウエハ...
大学・公的機関研究開発部門、半導体・真空装置メーカーなどで真空薄膜実験用に多数...
MiniLab-026, -060, -080, -090, -125
モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立が可能。...
MiniLab R&D用実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材質に応じ...
MiniLab-M307
ローコスト・ハイスペック。高品質蒸着膜を低価格装置で実現
主仕様】 ・ベルジャー:ガラスもしくは SUS304 Φ304 x 350H mm ベースプレート着脱...