n-216
NEXLINE® PiezoWalk®ドライブによるロングストロークと高分解能、高剛性ステージ
■ ストローク:20mm ■ 分解能:0.03nm(オープンループ)、 5nm(クローズドループ) ■ 保持力最大800N ■ 静止時に自動ロック ■ 非磁性および真空対応の動作原理 ■ クリー...
n-310
わずか25×25×12mmのコンパクトサイズ・最大125mmのストローク・10Nのプッシュプルフォ...
■ 10~125mmのトラベルレンジ ■ コンパクトでコスト効率に優れた設計 ■ 0.03nmの分解能 ■ プッシュプルフォース~10N ■ 低動作電圧 ■ 静止時の自動ロック、発熱なし、 ナ...
N-470
PIShift ピエゾモーターを備えたリニアアクチュエータ・低価格で高性能!
■ 保持力>100N ■ ステップサイズ30nm ■ 移動範囲7.4mm ■ コンパクト設計 ■ 軸力22N
LPS-24
わずか24mm幅・5Nの保持力!ミニチュアステージ
わずか24mm幅 ■ トラベルレンジ:15mm ■ 5Nの保持力 ■ NEXACT® ピエゾモータ ■ 一方向再現性:± 20nm ■ ご要望に応じて真空バージョンあり(10-6hPa)
Q-522
ナノメートルの範囲で正確な位置分解能!22mm角の小型ステージ
■ わずか22mm幅・高さ10mm ■ 分解能最大1nmのインクリメンタルエンコー ダを使用した直接位置測定(オプション) ■ アダプタ不要のXY マウント ■ トラベルレンジ6.5、13...
N-565
サブナノメートルレンジの滑らかで高精度な動きを保証!薄型リニアステージ
■ サブナノメートル分解能も持つ ピエゾ駆動ステッピングモータ ■ トラベルレンジ:最大52mm(2") ■ 一方向再現性:<0.005μm ■ 最大速度:10mm/ 秒 ■ 耐荷重:2kg ■ ...
U-521
わずか35mm角高さ10mmのコンパクトサイズのリニアステージ
■ わずか35mm角高さ10mmのコンパクトサイズ ■ 最高速度200mm/秒 ■ トラベルレンジ18mm ■ 優れた動作/停止ダイナミクス ■ 直接測定リニアエンコーダー ■ アダプタープレー...
M-686
薄型!顕微鏡検査における自動位置決めアプリケーション用に最適!
■ 内蔵のクローズドループピエゾモーター駆動に より、100mm/sの高速化を実現 ■ ストローク:25×25mm ■ 分解能0.1μmのリニアエンコーダを内蔵 ■ コンパクトな設計:断面高さ...
M-687
リファレンスクラスのXY顕微鏡ステージ
■ 最高水準の安定性 ■ 0.1μmの分解能 ■ 最大135mm × 85mmのトラベルレンジ ■ 倒立顕微鏡に適したタレットの自由回転 ■ 適合するZサンプルスキャナーあり
LMS-180
高度なエレクトロニクス製造やレーザーアプリケーション用に開発!リニアモータステージ
■ リニアモーター ■ トラベルレンジ:最大508mm(20") ■ 一方向再現性:<0.05μm ■ 最大速度:500mm/秒 ■ インダクティブリミットスイッチ内蔵 ■ リニアスケール内蔵(中...