UPS-150
ファイバーアライメントやウエハ表面検査装置向け・リニアモーターステージ
■ リニアモーター ■ トラベルレンジ:最大305mm(12") ■ 一方向再現性:<0.015μm ■ 最大速度:600mm/秒 ■ 最大耐荷重:15Kg ■ インダクティブリミットスイッチ内蔵 ■ リ...
M-110
コンパクトな寸法、優れた性能・小型DCモータステージ
■ 5mm、15mm、25mmのトラベルレンジ ■ きわめて高いコスト効率 ■ 50nmのインクリメンタルモーション ■ 最大速度2mm/秒 ■ クローズドループDCモーターと ステッパーモーター...
Q-622
わずか22mmの径と10mmの高さ・超小型リニアステージ
■ わずか22mmの径と10mmの高さ ■ 回転レンジ: > 360° ■ 速度:70°/S ■ ドライブトルク:5m/Nm ■ アダプタなしでQ-522 型ステージと組み合わ せ可能 ■ 真空対応可能:10...
U-628
直接測定用に光学エンコーダを内蔵・高速小型回転ステージ
■ 側面の長さ50mm ■ 位置エンコーダを内蔵 ■ 1000°/ 秒を超える速度 ■ 回転範囲は制限なし ■ 開口部の直径:7mm
U-651
わずか14mmの薄型ステージ
■ 薄型:わずか14mmの高さ ■ 分解能が最大4μ rad のダイレクト位置測定 ■ 最高速度720°/ 秒 ■ 両方向の回転で最大0.3Nmのトルク ■ 開口部の直径:36mm● 研究および製造業
UPR-120
高速・高精度位置決め用ステージ!トルクモーターによるダイレクト駆動ステージ
■ 高精度ベアリング ■ トルクモーター ■ 一方向再現性:<0.00008° ■ 平坦度と偏心:±3μm ■ ウォッブル:±25μrad ■ 最大速度:360°/秒 ■ 最 大耐荷重:20Kg(プラットフォ...
WT-90
レーザー位置決めと放射線分野向け!ゴニオモーターステージ
■ 一方向再現性:0.001° ■ 最大速度:15°/秒 ■ 耐荷重:8Kg ■ メカニカルリミットスイッチ内蔵 ■ WT-120と併用でも回転中心は一つ ■ オプション:角度センサー内蔵
D-510
最大限の精度と寿命を誇る静電容量位置センサー
■距離/動き/振動の非接触測定 ■絶対位置検知 ■サブナノメートルの分解能 ■測定範囲~500μm ■組み込みが容易 ■高周波数帯域対応
D-015
高精度が必要なアプリケーションに最適!2電極静電容量センサ
■ 高精度が必要なアプリケーションに最適 ■ 測定範囲 ~0.01nm ■ 分解能:0.01nm ■ デジタルコントローラー使用時の リニアリゼーション ~0.01% ■ バンド幅 ~10Khz ■ カ...
H-811
コンパクトで正確!CIPA認定品ヘキサポッド
■最小ヘキサポッド真空オプションあり ■トラベルレンジ 34mm/42° ■耐荷重 5Kg ■アクチュエーター分解能 40nm ■最小インクリメンタルモーション 0.2μm ■再現性± 0.1μm ■フ...